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硅晶圓清洗水可采用超純水設備生產(chǎn)

時(shí)間:2024-06-13

  硅晶圓是半導體制造過(guò)程中必不可少的材料之一。它是一種無(wú)機非金屬材料,主要由硅元素構成,具有良好的穩定性。在半導體制造中,硅晶圓通常用作集成電路、太陽(yáng)能電池和其他電子設備的基板。硅晶圓的生產(chǎn)需要高精度的加工和嚴格的質(zhì)量控制,以確保晶圓的純度和一致性。

  當硅晶圓被污染時(shí),需要對硅晶圓進(jìn)行清洗,以此保證它作為電子器械生產(chǎn)原料的純凈度。硅晶圓清洗并不是自來(lái)水沖洗就可以的,因為它是精密材料,必須要使用超純水清洗才可以保護它不受雜質(zhì)污染。超純水設備是生產(chǎn)超純水的專(zhuān)用技術(shù)產(chǎn)品,可以穩定連續地生產(chǎn)大批量品質(zhì)安全可靠的超純水。

超純水設備

  超純水設備采用了“雙級反滲透系統+EDI模塊”的技術(shù)工藝。反滲透膜可以有效去除水中含有的鈣、鎂、鉀等金屬離子和其他微量元素,還可以將細菌、微生物有效脫除。EDI系統有效保證了超純水品質(zhì),脫鹽處理過(guò)程中不會(huì )產(chǎn)生酸堿廢液,不會(huì )給后續工藝帶來(lái)處理負擔,省去了酸堿中和處理的步驟,簡(jiǎn)化了生產(chǎn)工藝。

  超純水設備內部還設置了獨有的靶向離子交換系統,可以將難處理的硼及其他離子定向去除。由于反滲透膜技術(shù)的存在,在超純水生產(chǎn)時(shí)可以實(shí)現系統的帶電荷運行,離子遷移速度會(huì )更快,脫鹽效果會(huì )更好。除此之外,超純水設備還實(shí)現了高度自動(dòng)化運行,操作非常靈活,節約了人員力量的投資成本。

  超純水的水質(zhì)純度高,主要用作工業(yè)生產(chǎn)原料水和精密器械清洗水。采用超純水清洗硅晶圓能有效保證硅晶圓的無(wú)菌性和純凈度。超純水設備可以穩定連續生產(chǎn)超純水,不需要更換樹(shù)脂,具有很高的應用價(jià)值。

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  編輯:新奇   技術(shù):加菲

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